根據(jù)成像方式的不同，ProX 飛納電子顯微鏡主要分為透射式(TEM)和掃描式(SEM)。透射式是將電子束穿透樣品，通過測量透過樣品的電子強度和相位變化來形成圖像。它要求樣品非常薄，通常需要制備成納米級的薄片，以便電子能夠順利穿透。這種顯微鏡能夠提供樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的高分辨率圖像，對于研究材料的晶體結(jié)構(gòu)、原子排列等方面具有重要意義。例如，在材料科學(xué)中，透射式可以觀察到金屬材料中的晶格缺陷、位錯等微觀結(jié)構(gòu)，以及納米材料的原子級結(jié)構(gòu)特征。
掃描式則是利用聚焦的電子束在樣品表面逐點掃描，通過收集從樣品表面激發(fā)出的二次電子、背散射電子等信號來生成圖像。它可以提供樣品表面的三維形貌信息，具有較大的景深和較高的表面分辨率。在生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，比如觀察細胞表面的形態(tài)、巖石的微觀結(jié)構(gòu)等。掃描式能夠直觀地展示樣品表面的粗糙度、紋理等特征，對于研究材料的表面性質(zhì)和微觀結(jié)構(gòu)有著重要作用。此外，還有一種掃描透射式(STEM)，它結(jié)合了透射和掃描的特點，通過探測透射電子在樣品中的角分布來獲得高分辨率的圖像，并且可以實現(xiàn)原子尺度的元素分析。
ProX 飛納電子顯微鏡在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。在生命科學(xué)領(lǐng)域，它能夠幫助科學(xué)家觀察病毒、細胞器等微小結(jié)構(gòu)，揭示生命的奧秘；在材料科學(xué)中，用于研究新材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能關(guān)系，推動材料的創(chuàng)新和發(fā)展；在物理學(xué)領(lǐng)域，有助于探索物質(zhì)的微觀物理現(xiàn)象和規(guī)律，如量子效應(yīng)等。
ProX 飛納電子顯微鏡的校準方法：
-透射電鏡：常用周期結(jié)構(gòu)標準物質(zhì)(如石墨、氧化物晶體)校準圖像放大倍率。
-掃描電鏡：采用微米級光刻標尺或納米金球校準長度量測。
-放大倍率校準：通過標準樣品的已知尺寸與圖像測量值的比例，修正顯微鏡的放大倍率參數(shù)。
-像散校正：調(diào)整聚光鏡或物鏡電流，消除圖像模糊或畸變。
-電子束電流校準：使用法拉第杯或電流校準器，確保束流穩(wěn)定。
-通過調(diào)整聚光鏡、物鏡和投影鏡的同軸性，保證電子束準確聚焦。
-根據(jù)使用頻率，定期(如每月或每季度)重復(fù)校準流程，維持儀器精度。
