飛納電子顯微鏡利用電子束掃描樣品表面，通過(guò)檢測(cè)二次電子和背散射電子來(lái)生成高分辨率的三維圖像。SEM主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈、樣品室和探測(cè)器組成。電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過(guò)聚焦和掃描線(xiàn)圈準(zhǔn)確控制，投射到樣品表面。散射回來(lái)的電子被探測(cè)器接收并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，形成圖像。
結(jié)合了透射和掃描功能，它通過(guò)掃描電子束透過(guò)樣品，收集透過(guò)和散射的電子來(lái)成像，主要由電子槍、電磁透鏡、樣品架、掃描線(xiàn)圈、探測(cè)器和成像系統(tǒng)組成。電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過(guò)聚焦和掃描線(xiàn)圈控制，投射到樣品上。透過(guò)和散射的電子被探測(cè)器接收并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，形成圖像。
廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生物學(xué)等領(lǐng)域。在表面科學(xué)中，用于觀察材料的微觀形貌和分析表面特征。在材料科學(xué)中，它用于研究合金、陶瓷和復(fù)合材料的表面結(jié)構(gòu)和損傷情況。在生物學(xué)中，用于觀察組織和細(xì)胞的表面形態(tài)，以及微生物和植物的結(jié)構(gòu)。
飛納電子顯微鏡的主要類(lèi)型：
透射電子顯微鏡通過(guò)電子束穿透超薄的樣品來(lái)獲得內(nèi)部結(jié)構(gòu)的高分辨圖像。典型的TEM由電子槍、電磁透鏡、樣品架、熒光屏和成像系統(tǒng)組成。電子槍發(fā)射電子束，電磁透鏡將其聚焦并投射到樣品上。透過(guò)樣品的電子束攜帶內(nèi)部結(jié)構(gòu)的信息，經(jīng)過(guò)額外的電磁透鏡成像在熒光屏或數(shù)字探測(cè)器上。
TEM在材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物學(xué)中有廣泛的應(yīng)用。在材料科學(xué)中，它用于研究金屬、陶瓷和聚合物的微觀結(jié)構(gòu)，幫助理解材料的機(jī)械性能和失效機(jī)制。在納米技術(shù)中，TEM用于觀察和表征納米粒子和納米器件。在生物學(xué)中，它用于觀察病毒、細(xì)菌和細(xì)胞的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，特別是在研究細(xì)胞器如線(xiàn)粒體和內(nèi)質(zhì)網(wǎng)時(shí)具有重要價(jià)值。
