全自動掃描電鏡是一種顯微分析設備，它通過電子束掃描樣品表面，產生高分辨率的圖像。這種設備廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等領域，為科研人員提供了一種非破壞性的分析手段。
1.工作原理：利用電子束在樣品表面進行掃描，通過檢測二次電子和背散射電子的信號，生成高分辨率的圖像。電子束由電子槍產生，經過電磁透鏡聚焦，然后在樣品表面進行掃描。掃描過程中，電子與樣品相互作用，產生二次電子和背散射電子，這些信號被探測器接收并轉換成圖像。
2.主要組成部分：全自動掃描電鏡主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室、探測器、信號處理系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)等部分組成。電子槍產生電子束，電磁透鏡對電子束進行聚焦和偏轉，掃描線圈控制電子束在樣品表面的掃描路徑，樣品室用于放置和調整樣品，探測器接收二次電子和背散射電子信號，信號處理系統(tǒng)將信號轉換成圖像，計算機控制系統(tǒng)實現(xiàn)設備的自動化操作。
3.分辨率：分辨率是指能夠分辨出兩個相鄰點的距離。分辨率受到電子束直徑、探測器性能和樣品本身性質等因素的影響。一般來說，分辨率可以達到納米級別，甚至更高。
4.放大倍數(shù)：全自動掃描電鏡的放大倍數(shù)是指圖像中樣品的實際尺寸與顯示器上顯示的尺寸之比。放大倍數(shù)可以通過調整電磁透鏡的聚焦電流來實現(xiàn)。放大倍數(shù)范圍很廣，從幾十倍到幾十萬倍不等，可以滿足不同尺度的分析需求。
5.樣品制備：對樣品的要求較高，需要樣品具有良好的導電性和較高的穩(wěn)定性。對于非導電樣品，需要進行噴金或碳膜鍍層處理，以提高其導電性。此外，樣品的尺寸和厚度也需要適中，以便于觀察和分析。
6.應用領域：全自動掃描電鏡廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等領域。在材料科學領域，可以用于分析材料的微觀結構、形貌和成分；在生物學領域，可以用于研究細胞和組織的形態(tài)和功能；在地質學領域，可以用于分析礦物的成分和結構。此外，還可以用于半導體、納米技術、環(huán)境科學等領域的研究。
